日本小島KOFLOC數字式質量流量控制器

1. 什么是質量流量計？什么是質量流量控制器？
質量流量計，即Mass Flow Meter（縮寫為MFM）, 是一種測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。
質量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。簡單地說,質量流量控制器就是一個穩流裝置, 是一個可以手動設定或與計算機聯接自動控制的氣體穩流裝置。

日本小島KOFLOC質量流量控制器-數字式

DF250C系列是DF200C系列的大流量產品，同陽也采用了全新傳感器

全新控制閥，新的PID算法，從而在控制精度、響應速度大大

得到了提升，通訊方面DF200采用RJ45接口，使用普通網線既可串聯99臺

DF200C，大大節省了布線的工作，上市以來得到各個行業客戶的認可

流量范圍從10SCCM-500SLM，可以滿足大部分客戶的需求

日本小島KOFLOC質量流量控制器-數字式

性能參數

電氣連接

DB9針腳定義：

RJ45針腳定義：150SLM以下(通訊用)

圓形4芯針腳定義：200SLM以上(通訊用)

2. 質量流量控制器的原理是什么？
質量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調節閥門和放大控制器等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較, 再將差值信號放大后去控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質量流量控制器配套的流量顯示儀上設置有穩壓電源,數字電壓表, 設定電位器, 外設、內設轉換和三位閥控開關等。